沈阳市沈北生态环境分局关于2025年4月8日拟作出中国电子科技集团公司第四十七研究所扩建项目环境影响评价文件审查意见的公示
发布日期：2025年04月08日 来源：沈北生态环境分局
根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，经审议，2025年4月8日我局拟对1个建设项目环境影响评价文件作出审批意见。现将拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期为2025年4月8日－2025年4月14日（5个工作日）。
听证权利告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示起5日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。
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拟批准环境影响评价文件的建设项目
序号 | 项目名称 | 建设地点 | 建设单位 | 环境影响评价机构 | 项目概况 | 相关部门意见（审批或核准意见） | 公众参与说明（报告书） | 主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施 |
1 | 中国电子科技集团公司第四十七研究所扩建项目 | 沈阳市沈北新区道义镇郭三村孝信街10号 | 中国电子科技集团公司第四十七研究所 | 辽宁鑫宇环保咨询有限公司 | 拟对现有减薄背金工艺进行优化升级，以更好满足产品散热性能、减小器件导通电阻、缩小后续封装空间为目的，将现有厚度为300um镀膜晶圆减薄至100um，并新增2套减薄背金研发及配套设施，研发能力由1千片/年增加到8万张/年 | 同意 | / | 1.大气污染防治措施 （1）有组织排放 晶圆脱水工序产生的非甲烷总烃，经通风橱收集，采用二级活性炭装置处理后经25m高排气筒DA001排放；本次扩建技改现有晶圆腐蚀线与金属架清洗产生的废气氮氧化物、氟化物、乙酸（以非甲烷总烃计）、氯化氢，经各自通风橱收集，收集后经管网汇集至15t/h喷淋塔装置处理，处理后经1根25米高排气筒DA002排放，新增晶圆腐蚀线产生的氮氧化物、氟化物、乙酸（以非甲烷总烃计）、氯化氢经通风橱收集至28t/h喷淋塔装置处理，处理后通过1根25米高排气筒DA004排放；危废贮存库产生的氮氧化物、氟化物、乙酸（以非甲烷总烃计）、氯化氢经密闭负压收集至一级碱吸收+单级活性炭吸附装置处理，处理后经1根25米高排气筒DA005排放。 根据“报告表”，晶圆脱水工序大气污染物非甲烷总烃满足《工业涂装工序挥发性有机物排放标准》（DB21/3160-2019）表1及表2标准要求；危废贮存库与晶圆腐蚀工序大气污染物氮氧化物、氟化物、非甲烷总烃、氯化氢满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新建污染源二级标准。 （2）无组织排放 晶圆腐蚀、金属架清洗工序通风橱未收集产生的氮氧化物、氟化物、乙酸（以非甲烷总烃计）、氯化氢及晶圆脱水工序通风橱未收集产生的非甲烷总烃以无组织形式排放。根据“报告表”，项目厂界处氮氧化物、氟化物、氯化氢满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2限值要求，厂界处非甲烷总烃满足辽宁省《工业涂装工序挥发性有机物排放标准》（DB21/3160-2019）表3标准，厂区内非甲烷总烃满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）中表A.1的标准限值要求。 项目选用碘值不低于800毫克/克的活性炭，危废贮存库吸附废气的活性炭每2个月更换1次，单次更换量0.1吨、晶圆脱水工序吸附废气的活性炭每7个天更换1次，单次更换量0.2吨。 本项目新增VOCs总量为1.247t/a、NOX总量为0.661t/a。 2.水环境污染防治措施 喷淋塔废水、减薄背金清洗废水、纯水制备废水一并排入工艺为“调节+中和+混凝沉淀”的自建污水处理，处理达标后由市政管网进入道义污水处理厂。根据“报告表”，pH值、COD、氨氮、SS排放均满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1水污染物间接排放限值，氟化物满足表1污染物直接排放标准，BOD满足《辽宁省污水综合排放标准》（DB21/1627-2008）表2标准要求。 本项目实施后全厂COD、NH3-N总量控制指标分别为2.515t/a，0.2515t/a。 3.噪声污染防治措施 项目通过采用低噪声设备、建筑隔声等措施降噪。根据“报告表”，项目厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348.2008) 1类标准。 4.固体废物污染防治措施 项目污泥收集后外运填埋处理。废酸、废试剂瓶和包装桶、金属架清洗废水、废活性炭、废石灰属于危险废物，暂存于危废贮存库，定期交由有资质单位处理。 |
